IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列

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產(chǎn)品名稱(chēng): IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列
產(chǎn)品型號: FLP-75W
產(chǎn)品廠(chǎng)商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列,無(wú)需阻尼器即可實(shí)現低脈動(dòng),降低總體成本, 適用于單晶圓工藝的負載追隨性?xún)?yōu)異,可實(shí)現穩定運行。


IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列  的詳細介紹

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列        產(chǎn)品特點(diǎn):

●低脈動(dòng)

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負載波動(dòng)期間的跟隨性

●無(wú)需阻尼器可節省空間


IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP-75W      產(chǎn)品特參數:

*大排放量 92L/min(供氣壓力0.3MPa、淡水25℃)
工作液溫度 5~100℃ 101~150℃ 151~180℃
*大供氣壓力 0.5MPa 0.4兆帕 0.3MPa
*大耗氣量 647NL/分鐘
*大行程數 150次/分鐘
主要成分 聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
*大轉移液粘度 50毫帕·秒
吸入側
連接管直徑
?31.8mm × ?28.0mm (PFA)
Super 300 型 1-1/4" 聯(lián)管螺母,帶套筒
排出側
連接管徑
?25.4mm × ?22.2mm (PFA)
Super 300 型 1" 鎖緊螺母,帶套筒

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